Анализ результатов расчетов

040

- Нагрев подложек до фиксированной температуры Тподл =1500С, происходит в высоком вакууме при одновременном вращении подложкодержателя. При этом с поверхности оптических деталей удаляются пары воды и молекулы легких газов. Время нагрева 5 - 15 минут.

050

- Нанесение оптического покрытия начинают после обезгаживания пленкообразующих материалов при закрытой заслонке. Для этого материал нагревают до температуры на 100 0С ниже, чем Тисп. В процессе прогрева давление вакуумной камеры повышается, а потом понижается до Р = 10-3 Па. Обезгаживание считается законченным, когда давление восстанавливается до первоначального значения. Далее включают фотометр, выводят нагреватель или ЭЛИ на режим испарения, открывают заслонку и проводят испарение материала, фиксируя параметры испарителя или ЭП. Контроль за нанесением испарителя ведут по фотометру. При нанесении просветляющих покрытий метод контроля на пропускание раздельный, так как m ≥3, и экстремальный.

051

- Нанесение оптического покрытия YF3.

Режимы нанесения пленки:

ИЭ Р=10-3 Па;

Тисп = 1136° С;

Тпод =150° С;

U = 6 кВ;

Iн = 10-12 А;

Iэм = 20-60 мА.

052

- Нанесение оптического покрытия LaF3.

Режимы нанесения пленки:

ИЭ Р=10-3 Па;

Тисп = 1750° С;

Тпод =150° С;

U= 6кВ;

Iн = 10-12 А;эм = 20-60 мА.

053

- Нанесение оптического покрытия YF3

Режимы нанесения пленки:

ИЭ Р=10-3 Па;

Тисп = 1136° С;

Тпод =150° С;

U= 6кВ;

Iн = 10-12 А;эм = 20-60 мА.

054

- Нанесение оптического покрытия CaF2.

Режимы нанесения пленки:

ИЭ Р =10 -3 Па;

Тисп.= 1360° С;

Тпод =150° С

U = 6кВ;

Iн = 10-12 А;

Iэм = 20-60 мА.

060

- Разгерметизация вакуумной камеры: после окончания процесса нанесения выключается вращение подложкодержателя. При снижении Тподл до 50єС камера отсекается высоковакуумным затвором от высоковакуумной системы откачки, производится напуск воздуха, открывается вакуумная камера и производится выгрузка оптических деталей в специальную кассету.

070

- Контроль. В связи с проведением группового технологического процесса нанесения покрытий на контроль попадают от 2 до 3 штук из партии, проверяют параметры rl=f(l), tl=f(l) на фотометре СФ-8 или СФ-4 и сравнивают полученные характеристики с расчетными. Определяют группу механической прочности на установке СД-500.

Построим графики зависимости от разности фаз:

i. Для первого свидетеля (на отражении):

ii. Для второго свидетеля (на отражении):

Интересное из раздела

История появления полупроводниковых интегральных схем
сентября 1958 года сотрудник фирмы Texas Instruments (TI) Джек Килби продемонстрировал руководству три странных прибора - склеенные пчелиным воском на стеклянно ...

Шлюз ZigBee и GPRS
Беспроводные сенсорные сети получили большое развитие в последнее время. Такие сети, состоящие из множества миниатюрных узлов, оснащенных маломощным приемо- ...

Шагающий аппарат
Одной из важных разновидностей роботов являются шагающие роботы, предназначенные для перемещения по труднопроходимой местности. В отличие от к ...